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3靶等離子濺射儀對(duì)這幾種材料都有效

更新時(shí)間:2021-04-25      點(diǎn)擊次數(shù):840
  3靶等離子濺射儀是一種基于兩極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單,可靠且經(jīng)濟(jì)的涂覆設(shè)備。在真空室中安裝了三個(gè)靶材,旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)可以在同一樣品上依次涂覆三種材料。因此,它適用于實(shí)驗(yàn)室中各種復(fù)合膜樣品的制備以及非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極的生產(chǎn)。
  1、電子束敏感樣品
  主要包括生物樣品,塑料樣品等。在與樣品相互作用的過(guò)程中,它以熱的形式將部分能量轉(zhuǎn)移到樣品中。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,則這種相互作用將破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下,用非電子束敏感材料制成的表面涂層可以用作保護(hù)層,以防止這種損壞。
  2、不導(dǎo)電的樣品
  由于樣品不導(dǎo)電,其表面帶有“電子陷阱”,因此這種電子在表面上的積累稱(chēng)為“充電”。為了消除充電效果,可以在樣品的表面上鍍金屬導(dǎo)電層。該涂層充當(dāng)導(dǎo)電通道,以從材料表面轉(zhuǎn)移帶電的電子,從而消除帶電效應(yīng)。在掃描電子顯微鏡成像過(guò)程中,3靶等離子濺射儀濺射材料以增加信噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。
  3、新材料
  非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極的生產(chǎn),用以觀察電導(dǎo)率特性。
  3靶等離子濺射儀結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路工作時(shí),很容易控制真空室的壓力,電離電流并選擇所需的電離氣體,以獲得良好的涂層效果。根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康模梢蕴砑痈鞣N氣體,例如氬氣和氮?dú)?。?biāo)準(zhǔn)靶是厚度為50mm*0.1mm的金靶,也可以根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶,鉑靶等。樣品臺(tái)的尺寸可以安裝直徑為50mm,直徑為70mm的樣品臺(tái),也可以根據(jù)自己的要求定制樣品臺(tái)。

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