小型蒸鍍儀蒸發(fā)鍍膜包括以下基本工藝：

　　

　　1、加熱蒸發(fā)過(guò)程：包括將凝相變?yōu)闅庀嗟倪^(guò)程。每種蒸發(fā)物質(zhì)都有不同的溫度飽和蒸氣壓。

　　

　　2、氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基板之間的傳輸，即原子或分子在環(huán)境大氣中的飛行過(guò)程。

　　

　　3、在基板表面蒸發(fā)原子或分子的沉積過(guò)程。即蒸發(fā)、凝結(jié)、成核和核生長(zhǎng)，形成連續(xù)的薄膜。由于基板溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源溫度，因此氣態(tài)分子會(huì)在基板表面發(fā)生從氣態(tài)到固態(tài)的相變過(guò)程。

　　

　　小型蒸鍍儀的使用可分為四個(gè)步驟，即氣相沉積前的準(zhǔn)備、氣相沉積設(shè)備的預(yù)熱、薄膜的氣相沉積和停機(jī)。

　　

　　1、蒸發(fā)前的準(zhǔn)備工作：

　　

　?。?）打開(kāi)充氣閥，給鐘罩充氣，然后提起鐘罩；

　　

　?。?）根據(jù)鐘罩是否干凈，先用酒精清洗鐘罩內(nèi)的零件；

　　

　?。?）安裝鉬舟，將鋁絲放入鉬舟中，將待沉積的基材粘在鋁板上；

　　

　?。?）鐘罩下降時(shí)，觀察鐘罩下降時(shí)鐘罩內(nèi)是否有物體、雜物。

　　

　　2、氣相沉積儀的預(yù)熱：

　　

　?。?）啟動(dòng)機(jī)械泵，將鐘罩抽出，接低真空測(cè)量，直到鐘罩內(nèi)的真空度降至5pa以下；

　　

　?。?）調(diào)節(jié)螺桿至10-20Pa，此時(shí)可對(duì)蒸鍍基板材料進(jìn)行轟擊。如果不需要轟擊，則直接進(jìn)行下一步。轟擊時(shí)間根據(jù)需要控制，主要用于處理沉積基板的表面。轟擊結(jié)束后，將轟擊撥盤(pán)置零，然后將撥盤(pán)的“轟擊”檔轉(zhuǎn)至“關(guān)”檔；

　　

　?。?）將低壓閥推至泵送系統(tǒng)。當(dāng)壓力低于5pa時(shí)，啟動(dòng)擴(kuò)散泵，預(yù)熱40分鐘。

　　

　　3、蒸發(fā)膜：

　　

　?。?）預(yù)熱后，打開(kāi)高閥。大約40-60秒后，開(kāi)啟高真空測(cè)量（打開(kāi)燈絲），將低真空測(cè)量切換到擴(kuò)散泵的前級(jí)測(cè)量。當(dāng)真空度達(dá)到2-3×10-3時(shí)，滿足蒸發(fā)的真空度要求；

　　

　?。?）打開(kāi)“工件轉(zhuǎn)動(dòng)”齒輪，按要求調(diào)節(jié)“工件轉(zhuǎn)動(dòng)”的速度（接觸調(diào)壓值20-30）；

　　

　?。?）開(kāi)啟烘烤，調(diào)整所需溫度，根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定烘烤時(shí)間。如果不需要烘烤，可以進(jìn)行下一步氣相沉積實(shí)驗(yàn)；

　　

　?。?）選擇放置電極的位置，打開(kāi)“蒸發(fā)”齒輪，在相應(yīng)的電極位置插入“銅絞”，開(kāi)始加大電流（約180A）溶解蒸發(fā)的物質(zhì)。當(dāng)發(fā)現(xiàn)已經(jīng)熔化時(shí)，擋板會(huì)擋住蒸發(fā)源。*熔化后，打開(kāi)擋板，讓材料蒸發(fā)到基材表面；

　　

　?。?）蒸發(fā)后，所有齒輪應(yīng)歸零。關(guān)閉高真空測(cè)量，關(guān)閉高閥，拔出低閥至“抽出鐘罩”位置，停止機(jī)械泵，待工件冷卻后給鐘罩充氣，提起鐘罩，取出零件，并清潔涂層室。

　　

　　（6）如需額外蒸發(fā)，應(yīng)更換基板，并給電極（鉬舟）充電。

　　

　　4、關(guān)機(jī)：

　　

　?。?）如果小型蒸鍍儀蒸發(fā)完成，關(guān)閉高真空測(cè)量，關(guān)閉高閥，停止擴(kuò)散泵，在實(shí)驗(yàn)結(jié)束時(shí)啟動(dòng)機(jī)械泵。等待2小時(shí)冷卻后，將低位閥拉至“鐘罩”位置，使鐘罩內(nèi)保持一定的真空度；

　　

　?。?）關(guān)閉氣相沉積儀總開(kāi)關(guān)；

　　

　　（3）先關(guān)“進(jìn)”閥，再關(guān)“出”閥（冷卻水）；

　　

　?。?）關(guān)閉氣相沉積儀電源；

　　

　?。?）關(guān)閉主電源。

　　

　　（6）涂裝實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，注意清洗所有零件的原廠零件，退回所有材料，并進(jìn)行清潔以保持實(shí)驗(yàn)室清潔。