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OTF-1200X-PLD是一款多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐,此款設備主要包括混氣裝置,加熱爐,基片加熱腔體、靶材濺射腔體和氣壓控制系統(tǒng)組成??膳c準分子激光器配合,進行脈沖激光蒸發(fā)鍍膜,而且靶材濺射腔體內可安裝3塊靶材,可依次對3中不同靶材進行激光脈沖蒸發(fā)。此款設備特別適合制作多元化合物薄膜。
雙溫區(qū)管式爐系列是通過CE認證的,其Z高溫度可達到1200℃,并可通過調節(jié)兩個溫區(qū)的控溫程序使爐管內溫場形成一溫度梯度。兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐 可以用CVD方法來生長納米材料和制備各種薄膜.
小型真空管式爐是一款通過CE認證的小型高溫管式爐,其爐管采用的是高純氧化鋁剛玉管,加熱元件為硅碳棒。儀器本身帶有兩個真密封法蘭(法蘭上已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥)。控制系統(tǒng)采用高精度可控硅移相觸發(fā)控制,其控溫精度為+/-1°C,控溫方式采用30段程序設置,Z高溫度可達到1400℃。
OTF-1200X-HP-30A是一款小型的高溫高壓管式爐,其爐管法蘭上安裝有高壓電磁閥和壓力傳感器,所以當管內氣壓高于設定值時,電磁閥會自動打開排氣,使管內氣壓達到設定值。其爐管采用鎳基合金鋼管制作,其尺寸為30mm O.D x 12 mm I.D x 560 mm L。此款可在高壓氧環(huán)境或惰性氣體環(huán)境下對樣品進行熱處理,Z高溫度可達1100℃。所以特別是對于超導材料及介電材料的探索研究,
OTF-1200X-VTHPΦ60是一款雙溫區(qū)立式高溫高壓爐,爐管采用鎳基合金鋼管制作,具有較高的蠕變強度和抗氧化性。爐管可承受的Z高溫度為1100℃(在此溫度下可承受的壓力為5MPa).此款設備適合用水浴法制備材料,也特別適合在高壓氧環(huán)境下對樣品進行熱處理。法蘭上安裝有電磁閥,當爐管內壓力高于設定值時,電磁發(fā)自動打開排出氣體減小管內氣壓。
OTF-1200X-4-VT-II是通過CE認證的雙溫區(qū)立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm,適合于對樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下進行吊燒和淬火。爐體下端安裝有一移動架以方便與移動。采用PID方式進行溫度調節(jié),可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1 ℃.
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