技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

• 雙層莫來(lái)石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷）
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）（點(diǎn)擊圖片查看詳情）

加熱區(qū)

12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5ºC ）

石英管和樣品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 3" 的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，石英材料
•  一片3"  AlN 片放在樣品架上用來(lái)放置需要退火的樣品。
• AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

真空法蘭

• 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個(gè)高溫“O”型圈密封
• 滑動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

水冷

如果要求通冷卻水.

• 請(qǐng)確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI

• 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）.

• 警告:  這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時(shí)間不超過(guò) 600 秒，否則“ O”圈將被燒融
  
  

流量計(jì)

范圍： 16 - 160 ml/min

真空表

• 數(shù)字真空表，測(cè)量范圍：10mtorr~800 torr .
• 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片了解詳細(xì)參數(shù)）
  
  

真空度

• 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr .

• 用分子泵真空度可達(dá) 10^-4 torr .

溫度控制

PID 自動(dòng)控制， 可控硅 SCR

熱偶

進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

• PID 自動(dòng)控制，30段程序帶過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能
• 熱偶: 進(jìn)口K type
• 自整定功能
• 控溫精度: +/- 1°C
•  RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購(gòu)）   溫控操作視頻：點(diǎn)擊查看

zui快升溫速度 

室溫~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃： 10^oC/sec

zui快降溫速度 

60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一個(gè)大氣壓下) 

選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖:

溫度

zui高1100ºC ，額定1000°C

電源 

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn)) 

尺寸 

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 

重量 

45 kg (100 lbs) 

保修期

電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）

認(rèn)證

  CE 認(rèn)證

升溫視頻                 

名稱：一種快速高溫退火爐

編號(hào)：ZL-2011-2-0077168.4

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

標(biāo)準(zhǔn)裝箱單

商品編碼

名稱 

數(shù)量 

圖片 

EQ-CVM-211

數(shù)字真空計(jì)： 10^-4 Torr

1

RT36-00

63A保險(xiǎn)

2

RT14-20

4A保險(xiǎn) 

2

RTP-ACC-01

石英樣品架

1

AIN-Holder

樣品架上的AlN基片

KSL7-05

高溫手套, 耐 900 ^oC

1 pair

EQ-QZTube-RTP

石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

1

RTP-ACC-02

石英擋板 

4pcs 

聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm

1

高溫硅膠圈(6 個(gè)）

9

EQ-RTP-Halogen-light

紅外燈管

8

水管接頭

2

一對(duì)真空法蘭

1

N/A

高真空選配清單

為了獲得較高的真空，我們建議使用 KF25 適配器和不銹鋼真空管 (達(dá)50 mtorr),

名稱

數(shù)量 

l圖片

真空泵, 兩級(jí)旋片Two Ste高速真空泵和兩級(jí)排氣系統(tǒng)和KF-D25 適配器(110V or 220V)

1

 配KF-D25口的波紋管  (1m)

1

 KF-D25 真空快接 

1