當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD、PECVD設(shè)備 > 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV
簡(jiǎn)要描述:GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),Z高溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
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GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),zui高溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
管式爐結(jié)構(gòu) |
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加熱元件 |
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zui高工作溫度 | 1700°C | |||||||
zui大升溫速率 | 5°C/min | |||||||
zui大降溫速率 | 5°C/min | |||||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 455mm (18") | |||||||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150(+/-1°C) | |||||||
溫控系統(tǒng) |
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控溫精度 | +/-1°C | |||||||
爐管材質(zhì)和尺寸 |
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密封法蘭 |
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輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:zui大5KW | |||||||
真空泵和配件 | 真空泵 |
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配件 |
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氣體流量計(jì) |
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運(yùn)輸信息 | 產(chǎn)品尺寸 |
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凈重 | 450 lb (總計(jì)) | |||||||
運(yùn)輸重量 | 500 lb (總計(jì)) | |||||||
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 | |||||||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified |
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