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當(dāng)前位置:首頁(yè)   >  產(chǎn)品中心  >    >  CVD、PECVD設(shè)備  >  1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X- S50- 2F

1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X- S50- 2F

簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì),右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機(jī)械泵相連接(抽速為226L/m)。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 °C 。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-22
  • 訪  問  量:2094

詳細(xì)介紹

  OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì),右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機(jī)械泵相連接(抽速為226L/m)。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 °C 。


 技術(shù)參數(shù)

高溫爐

殼體

  • 采用雙層殼體
  • 爐膛采用多晶氧化鋁纖維,zui大程度減小能量損失
  • 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

(點(diǎn)擊圖片查看詳情)

功率        

1.75KW

電壓

AC -220V 

溫度

  • zui高工作溫度:1200℃(< 1hr
  • 連續(xù)工作溫度1100 
  • 升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 8" (200mm)
  • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C

溫控系統(tǒng)

  • PID30段程序化控溫
  • 控溫精度: +/- 1℃  
  • 控溫儀表操作視頻

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長(zhǎng)使用壽命)

兩路混氣系統(tǒng)

  • 兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 100mL/min 
  • -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
  • 三個(gè)機(jī)械壓力表:-0.1-0.15 MP
  • 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥
  • 后端裝有φ6.35卡套接頭,無需通電
  • 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
  • 凈重: 14 lbs.

                  

真空法蘭和配件

結(jié)構(gòu) 
                 
            左法蘭           右法蘭
標(biāo)準(zhǔn)真空配件:

  • 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)
  • 一個(gè)φ6.35的卡套接頭
  • 兩個(gè)KF25轉(zhuǎn)接頭
  • 一個(gè)600mm的不銹鋼波紋管
可選   本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

真空泵

  • 規(guī)格2XZ-2雙旋真空泵
  • 抽氣速率:120 liter/m   
  • 功率:1/2HP  375W
  • 油箱容積: 1000ml

產(chǎn)品凈重

100 lbs

產(chǎn)品尺寸

  • 爐體:340 x 300 x 400mm
  • 真空泵:440 x 160 x 300mm
  • 混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm

運(yùn)輸重量

200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件)

質(zhì)量認(rèn)證

    CE certified

 

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