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簡要描述:GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其Z高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
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GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其zui高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體 |
| ||||
爐管 |
| |||||
功率
| 6KW | |||||
工作電壓
| AC 208-240V單相, 50/60Hz | |||||
加熱元件
| 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |||||
工作溫度 |
| |||||
升溫速率
| <=5°C/min | |||||
加熱區(qū)長度 |
| |||||
溫控系統(tǒng) |
| |||||
真空法蘭 |
| |||||
外形尺寸
| 550 x 380 x 520mm | |||||
高真空機(jī)組 | 功率
| 100~110W | ||||
工作電壓
| AC 208-240V單相, 50/60Hz | |||||
外形尺寸
| 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |||||
殼體 |
| |||||
控制面板 |
| |||||
抽氣速率 |
| |||||
工作范圍
| 1000 mbar to <1E-7 mbar | |||||
極限
| <1E-8 mbar (without any leaking ) | |||||
質(zhì)量流量控制器 | 殼體 |
| ||||
功率
| 18W | |||||
工作電壓
| AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |||||
質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 | |||||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certificateed |
Operation Manual
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