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HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。
500W直流濺射電源--DC-500-LD
HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控濺射頭,可安裝直徑為1英寸的靶材??膳c直流、脈沖直流和射頻電源相匹配,以至于可以濺射各種靶材(如金屬、陶瓷、磁性和非磁性靶材等)。而且高真空的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可提高鍍膜質(zhì)量。
本公司提供高真空腔體,客戶可自行為一些實(shí)驗(yàn)搭建真空系統(tǒng),如等離子濺射,CVD或ALD等實(shí)驗(yàn),同時(shí)也可作為高真空儲(chǔ)存箱。
RF-100-LD是一款小型手動(dòng)匹配100WRF(射頻)電源,頻率為13.56MHz.此設(shè)備設(shè)計(jì)專門與本公司的1英寸的磁控濺射頭配用,可搭建起一套比較廉價(jià)的濺射鍍膜系統(tǒng),用于制作非導(dǎo)電薄膜。
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