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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)
OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國進(jìn)口的無油泵。此款PE-CVD對于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實(shí)現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實(shí)現(xiàn)對樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其Z高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其Z高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
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