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OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計,右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機械泵相連接(抽速為226L/m)。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 °C 。
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達到 10-2 torr.
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),Z高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯(lián)式雙旋機械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費的情況下來進行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。
OTF-1500X-80-III-4CV-PE是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手。
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